​SURFACE ANALYSIS

本實驗室長期透過表面分析技術，針對次微米/奈米等級的樣品進行鑑定，透過使用各類行表面分析儀器，對次微米/奈米等級樣品進行全方面研究。

    XPS ( X-ray Photoelectron Spectroscopy ) 提供化學組態分析及精準定量(0.1 at%) ；

    AES ( Auger Electron Spectroscopy ) 提供微區元素分部及高空間解析度( < 10 um) ；

    ToF-SIMS (Time-of- Flight Secondary Ion Mass Spectrometry ) 提供不同離子源(Ar+.C60+.Ar+GCIB ) 獲得深度資訊及精準定性能力 ( ppb ) 。