SCANNING ELECTRON MICROSCOPE (SEM)/elemental analysis（EDS）

SEM是一種電子顯微鏡，透過加熱燈絲使其表面電子跨越能量障礙後形成自由電子，再透過聚焦電子成束掃描樣品表面，藉由偵測二次電子，分析物體的表面形貌。

本實驗室之SEM機台搭載EDS元素分析

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本實驗室之SEM規格:

Source: 六硼化鈰(SmB6)

倍率: 30k up

模式: BSD、SED、EDS

載台: 平面 、45度、旋轉

Holder: 低真空、 高真空

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配備耗材:

鍍金機

碳膠帶

銅膠帶

SEM樣品準備注意事項

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量測尺度極限:1微米

量測前務必詳細了解樣品組成成分、特性。

 

樣品大小限制：小於1*1(cm)

嚴格禁止量測之樣品：

揮發性

磁性

液體

粉末

 

收費標準：

中山光電系委測550/hr、中山外系委測600/hr、外校委測893/hr

中山光電系自行操作350/hr、中山外系自行操作400/hr、外校自行操作643/hr

銅膠10/sample

鍍金20/15sec

(以上金額單位皆為新台幣)

 

經具有設備管理人員訓練後且通過考核方取得自行操作資格，考核、訓練過程皆以委測價格計費。

量測過程中電子束可能會對樣品造成不可逆的破壞，若無法接受，請勿預約。

填寫預約表單前，請先與設備管理員聯繫告知樣品組成成分、特性

(設備管理員Line ID：sss1232123)

取得設備管理員許可後方可填寫以下表單及試算表預約。