SCANNING ELECTRON MICROSCOPE (SEM)/elemental analysis（EDS）

掃描式電子顯微鏡/EDS元素分析

KCT PHENOM PRO

SEM是一種電子顯微鏡，透過加熱燈絲使其表面電子跨越能量障礙後形成自由電子，再透過聚焦電子成束掃描樣品表面，藉由偵測二次電子，分析物體的表面形貌。

本實驗室之SEM機台搭載EDS元素分析

本實驗室之SEM規格:

Source: 六硼化鈰(SmB6)

倍率: 30k up

模式: BSD、SED、EDS

載台: 平面、45度、旋轉

Holder: 低真空、高真空

配備耗材:

鍍金機

碳膠帶

銅膠帶

需填寫上述兩份表單

Both of the above forms need to be filled out.